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原子层沉积系统  招标公告


 日期:2017-9-13 8:57:43   人气:93 

一、项目名称:原子层沉积系统

二、招标编号:S2017114

三、招标人:苏州大学采购与招投标管理中心

地址:江苏省苏州市东环路50号凌云楼0904

邮编:215021                 传真:0512-67165076

联系人:罗老师                电话:0512-6750419867504359

电子邮箱:lrb998@suda.edu.cn

技术联系人:吴老师        电话:15262441985

电子邮箱: shaolong_wu@suda.edu.cn

四、招标货物品名、数量、主要性能参数基本要求

 原子层沉积系统  1

1.标准腔体:可以生长6 英寸样品,氮气保护的高温密封系统;

2.基底加热温度 RT400℃可控,控制精度±1 ℃;腔体烘烤温度 RT200℃可控,控制精度±1 ℃;

3.前驱体源输入系统6 路前驱体源; 1 路为常温源可接水/臭氧/氧气/氨气等,1路为加热鼓泡源,4 路为加热源;

3.1加热源: 温度 RT200℃可控,控制精度±1 ℃;配备高温手动阀;任意一路加热源可接相关前驱体源;

3.2常温源: 可接水/臭氧/氧气/氨气等,制备氧化物和氮化物;

3.3鼓泡源:加热温度可达到200℃;配备源控温系统、快速ALD高温高速阀门、1个鼓泡不锈钢瓶;

4.沉积模式:高速沉积的连续模式,沉积超高宽深比结构的停流模式;

5.ALD阀:每一路前驱体配置一个原子层沉积专用高速高温 ALD 阀; ALD 阀加热温度 RT150℃可控;最小脉冲时间≤15 ms

6.臭氧发生器:包括管路,裂解器附件;最高产量>7g/h,最大浓度>3.5%(w/w)

7.沉积非均匀性:<±1%

8.配置尾气处理系统;

9.配置若干种前驱体源,并提供相应材料生长工艺: Al2O3(20g)TiO2 (20g)ZnO (20g)SnO2 (10g)Pt源(4g);

10.质保期至少1年。

五、评分标准

本次招标采用综合评分法,总分为100,具体内容如下:

1.技术参数及整体综合性能(50分)

1.1技术参数(35分)

投标人需提供反映该产品技术参数的测试报告或产品说明书等作为评标依据,否则视为偏离。

1.1.1所投标产品多项参数偏离招标要求,或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的,经评标委员会评审可作为无效投标。

1.1.3所投产品不满足招标文件技术条款要求的(偏离)、配置不详、技术参数不清或缺漏项的,每处扣2分。

1.2综合性能情况(15分)

1.2.1所投产品性能参数优于招标文件中技术条款要求情况(评委会认为超出指标有意义的)(8分)。其中优于功能要求的每处加1分。

1.2.2所投产品的市场反馈情况(7分)。根据所投产品的品牌影响力、市场占有率(同行业为主)、现有用户的反馈情况等综合评定。

2.价格分(35分)

2.1评标基准价:满足招标文件要求且投标价格最低的投标报价为评标基准价,评标基准价为满分35分。

2.2其他投标供应商的投标报价得分按照下列公式计算:投标报价得分=(评标基准价/投标报价)×35分。

3.综合商务(15分)

3.1 售后与培训服务(3分)。根据投标人在苏州周边地区有无服务网点及其数量、服务响应时间以及现有用户服务反馈情况等综合评定。

3.2质保期(5分)。质保期符合招标要求的得1分,每增加1年加1分。

3.3 投标人综合实力(3分)。根据投标人的注册资本、公司成立年限与员工数、投标人的资质与证书等综合评定。

3.4 财务状况(1分)。

3.5标书质量(1分)。根据投标文件的规范性、完整性等综合评定。

3.6 其他优惠措施(2分)。根据是否提供招标文件要求范围以外,评标委员会认可的优惠措施综合评定。

六、本次招标采用一次性报价。报价应包括所报仪器设备费、安装调试费、测试验收费、培训费、运行维护费、税金(免税进口设备除外)、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的一切费用。

七、投标文件的组成

投标文件一般由下列材料组成(部分材料格式详见招标公告附件):

(一)投标文件一

1、投标函

2、投标报价表

3、详细配置及分项报价清单

(二)投标文件二(文件中不得出现所投产品报价及配置分项报价,否则作废标处理;所需具体材料及填写规范按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行)

1、投标基本情况一览表

2、详细配置清单、技术规格偏离表和投标仪器设备彩页

3、技术方案、服务承诺、培训承诺

4、资格证明文件

注:“投标文件一”和“投标文件二”应分别装订和密封,并加盖投标单位公章。

“投标文件一”,正本一份,副本一份;

“投标文件二”,正本一份,副本六份。

八、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求,按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》21条中的要求执行。

九、招标文件价格:标书每份人民币500(可投标时交纳),售后不退。

十、投标报名截止时间:20179291200。投标报名要求:

() 在报名截止时间前将投标确认函(格式见附件)送达或传真至招标人处;

() 未在苏州大学供应商库(http://gysk.suda.edu.cn)注册的供应商,请在报名截止时间之前完成注册。

十一、投标截止时间:201710101430。各投标人在投标前,须认真阅读《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》和本招标公告,完全了解并接受其所有条款及要求,并在截止时间之前将投标文件送达招标人处。

十二、开标时间:201710101430

十三、未尽事宜,按《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》中相关条款执行。





招标附件.rar


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