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非催化生长石墨烯气相沉积设备  招标公告


 日期:2017-9-13 8:49:00   人气:40 

一、项目名称:非催化生长石墨烯气相沉积设备

二、招标编号:S2017089

三、招标人:苏州大学采购与招投标管理中心

地址:江苏省苏州市东环路50号凌云楼0904

邮编:215021                  传真:0512-67165076

联系人:罗老师               电话:0512-6750419867504359

电子邮箱:lrb998@suda.edu.cn

技术联系人:曹老师        电话:13862086450

电子邮箱:bcao2006@163.com

四、招标货物品名、数量、主要性能参数基本要求

非催化生长石墨烯气相沉积设备  1

1.气路系统

1.1 三路质量流量计,分别是甲烷、氢气、氩气,量程分别是10sccm,100sccm,200sccm3路气体可以独立通入设备,能精确提供各种比例要求的气体。流量计采用数字式流量计,通讯接口为以太网接口,其中甲烷精度为±0.35F.S. 氢气和氩气为±1.5F.S.,氟胶密封,卡套接口,漏率1x10-9mbarl/s

1.2三路减压阀,分别为甲烷、氢气、氩气,钢瓶采用常规44L钢瓶,配置3个不锈钢减压阀,型号为R14系列。

1.3气路管道,所有管道从钢瓶口接上后连接到设备上,钢瓶与设备采用不锈钢管焊接。

1.4气柜,所有质量流量计及相关管道安装进入钢制气柜。

2.加热系统

2.1射频源,最大功率500W,功率稳定性±0.1W,频率13.56MHz±0.005%

2.2管式电阻炉,最大功率>6kW,最高温度1100℃,温度精度±1℃,加热区长度>600mm,恒温区长度>200mm,恒温区精度±2℃,最大可以放置4英寸样品,4英寸面内温度均匀性±0.4%。加热方式为电阻丝加热,材质为铁铬铝,加热丝直径>2mm。加热温区为3段,每段采用温控仪独立加热。

2.3石英管,采用150mm外径、140mm内径石英管,长度>1500mm,要求为气炼管,管无气泡,无波纹。

2.4感应加热,最大功率>100kW,功率稳定性±0.1W,频率15KHz±0.1%,最高温度1600度,温度精度±2℃,加热恒温区长度>30mm,恒温区精度±5℃,可放置4英寸样品,4英寸面内温度均匀性±1%

2.5红外测温仪,测温范围8001800,精度±2℃。

2.6石墨托,采用高纯度石墨99.99%,表面镀碳化硅层,镀层厚度大于500nm,尺寸为可以放置4英寸样品,1500度使用寿命大于50小时。

2.7 法兰,不锈钢304法兰,真空水冷密封,真空漏率<1×108mbarL/s,法兰水冷能承受5公斤水压。

3.控制系统

3.1工控机或单片机,集中控制系统显示,管式电阻炉加热控制、流量计控制、设备腔室压力控制集成在一体化控制系统中,可以实现控制开关量,数字量及模拟量。

3.2软件,软件要求涵盖控制内容为:射频源功率,管式炉各温区温度,各流量计流量,设备压力,超温报警等。

4.尾气系统

4.1 KF系列管件,采用KF40KF25等真空快速接口,材质为304不锈钢。

4.2干泵,真空泵采用涡旋干泵,可以控制流量腔室压力,当总流量为40 sccm时,压力可以控制在10100Pa

4.3阀门及压力表,通过阀门及压力计实现控制真空腔室压力,压力控制范围11000Pa,压力控制精度±5%

5.循环水系统

5.1循环水机,制冷量为≧48KW,循环水量为>300L/min,压力大于5公斤。

5.2 循环水管安装,连接水冷法兰及感应加热用铜管。采用PPR热水管,管径≧1寸。

6.监控系统

6.1四极质谱仪,监控甲烷分解后产物情况,给出产物比例关系。质量数范围1100amu。质谱仪必须配备低真空泵组。

其中石墨托数量为2个,其余数量为1个(套)

7.质保期至少1年。

五、评分标准

本次招标采用综合评分法,总分为100,具体内容如下:

1.技术参数及整体综合性能(50分)

1.1技术参数(35分)

投标人需提供反映该产品技术参数的测试报告或产品说明书等作为评标依据,否则视为偏离。

1.1.1所投标产品多项参数偏离招标要求,或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的,经评标委员会评审可作为无效投标。

1.1.2所投产品不满足招标文件技术条款要求的(偏离)、配置不详、技术参数不清或缺漏项的,每处扣2分。

1.2综合性能情况(15分)

1.2.1所投产品性能参数优于招标文件中技术条款要求情况(评委会认为超出指标有意义的)(8分)。其中优于功能要求的每处加1分。

1.2.2所投产品的市场反馈情况(7分)。根据所投产品的品牌影响力、市场占有率(同行业为主)、现有用户的反馈情况等综合评定。

2.价格分(35分)

2.1评标基准价:满足招标文件要求且投标价格最低的投标报价为评标基准价,评标基准价为满分35分。

2.2其他投标供应商的投标报价得分按照下列公式计算:投标报价得分=(评标基准价/投标报价)×35分。

3.综合商务(15分)

3.1 售后与培训服务(3分)。根据投标人在苏州周边地区有无服务网点及其数量、服务响应时间以及现有用户服务反馈情况等综合评定。

3.2质保期(5分)。质保期符合招标要求的得1分,每增加1年加1分。

3.3 投标人综合实力(3分)。根据投标人的注册资本、公司成立年限与员工数、投标人的资质与证书等综合评定。

3.4 财务状况(1分)。

3.5标书质量(1分)。根据投标文件的规范性、完整性等综合评定。

3.6 其他优惠措施(2分)。根据是否提供招标文件要求范围以外,评标委员会认可的优惠措施综合评定。

六、本次招标采用一次性报价。报价应包括所报仪器设备费、安装调试费、测试验收费、培训费、运行维护费、税金(免税进口设备除外)、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的一切费用。

七、投标文件的组成

投标文件一般由下列材料组成(部分材料格式详见招标公告附件):

(一)投标文件一

1、投标函

2、投标报价表

3、详细配置及分项报价清单

(二)投标文件二(文件中不得出现所投产品报价及配置分项报价,否则作废标处理;所需具体材料及填写规范按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行)

1、投标基本情况一览表

2、详细配置清单、技术规格偏离表和投标仪器设备彩页

3、技术方案、服务承诺、培训承诺

4、资格证明文件

注:“投标文件一”和“投标文件二”应分别装订和密封,并加盖投标单位公章。

“投标文件一”,正本一份,副本一份;

“投标文件二”,正本一份,副本六份。

八、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求,按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》21条中的要求执行。

九、招标文件价格:标书每份人民币500(可投标时交纳),售后不退。

十、投标报名截止时间:20179291200。投标报名要求:

() 在报名截止时间前将投标确认函(格式见附件)送达或传真至招标人处;

() 未在苏州大学供应商库(http://gysk.suda.edu.cn)注册的供应商,请在报名截止时间之前完成注册。

十一、投标截止时间:2017101013:30。各投标人在投标前,须认真阅读《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》和本招标公告,完全了解并接受其所有条款及要求,并在截止时间之前将投标文件送达招标人处。

十二、开标时间:2017101013:30

十三、未尽事宜,按《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》中相关条款执行。




招标附件.rar


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